德国Thyracont图拉特VSL53D/54D真空表变送器Smartline
数字真空变送器VSL是专门为负载锁定而开发的。金属密封的真空测量设备采用了多传感器技术，并将两个压电传感器与一个皮拉尼传感器结合在一起。因此，测量的压力在1200…1e-4 mbar范围内，相对于环境的相对压力在-1060…+340 mbar范围内。
概述用于负载锁的VSL真空变送器：
集成的多传感器系统：两个压电传感器测量压力和相对压力，以监视腔/闸的泵送和通风过程。Pirani传感器的测量范围高达10 mbar，可控制负载锁和处理室之间的低压传递，以实现的处理纯度。
简而言之：差压输出可精确触发开门功能
精确：高精度，分辨率和出色的稳定性
快速：响应时间短，高达40毫秒
稳定的测量值：得益于优化的温度补偿
与气体类型无关：20 mbar以上的测量与气体类型无关
继电器开关点：两个独立的无电势继电器开关点
概述Smartline真空变送器：
大量的接口选择：数字RS485接口加上0-10 V输出信号，EtherCAT或Profinet。此外，蓝牙适配器SLKBT支持无线通信
可更换的传感器头：带有存储的校准数据的可轻松更换的更换传感器头
调节简单：只需按一下按钮或通过界面即可调节零压力和大气压
LED：用于状态显示和切换点
可扩展的输出特性：0-10 V输出信号可以根据所需的特性进行缩放。
因此，与制造商无关，可以轻松地进行现有真空规的更换，而无需进行编程工作。
如果要保留电缆但要更换变送器，则可以使用适配器（例如FCC68）。
适用于超高压：由于采用金属密封的不锈钢测量元件，适用于超高压（氦气泄漏率<5e-10 mbar l / s）
坚固：耐腐蚀，符合EMC标准的金属外壳，防护等级高达IP54
控制器：可以通过2通道控制器VD12或4通道控制器VD14进行扩展
VacuGraphTM Windows软件：用于可视化，分析和存储测量数据
| 测量原理 | 传热皮拉尼，压阻 |
| 气体类型依赖性 | 取决于气体类型，与气体类型无关（压电） |
| 测量范围毫巴 | 1200-1e -4 mbar（1200mbar-0.0001mbar)，相对压力：-1060 ... +340 mbar（取决于环境压力） |
| 测量范围托 | 900-1e-4托，相对压力：-795…+255托 |
| 过载 | 4个吸收 |
| 准确性 | 1200-40毫巴：0.3％fs | 40-2e-3 mbar：10％fr，相对压力：测量范围的0.25％ |
| 重复性 | 1200-40毫巴：0.1％fs | 40-1e-2毫巴：2％fr |
| 真空接触材料 | 不锈钢1.4307，钨，镍，玻璃，金，氧化硅 |
| 反应时间 | 40毫秒 |
| 工作温度 | + 5 ... + 60°C |
| 储存温度 | -40 ... + 65°C |
| 烘烤温度 | 法兰上125°C（关闭电源） |
| 电源供应 | 20至30 VDC |
| 能量消耗 | 2.5 W，对于EtherCAT /继电器/ LCD为0.8 W，另外为Profinet为1.6 W |
| 输出信号SL | 0-10 VDC，最小10kΩ，测量范围1.5-8.58 VDC，对数 除了EtherCAT，Profinet |
| 串列介面 | EtherCAT，Profinet，RS485：9.6 kBd至115 kBd，8个数据位，1个停止位，无奇偶校验EtherCAT，Profinet |
| 切换输出 | 2个继电器，无电势，50 VAC / 2 A或30 VDC / 2 A，60 VA，EtherCAT和Profinet除外 |
| 电气连接 | RS485 / 0-10V：SubD，15针，公头，RS485 / EtherCAT / Profinet：1x M12 A / 2x M12 D母头 |
| 真空连接 | DN 16 ISO-KF（VSL53），DN 16 CF-F（VSL54） |
| 防护等级 | IP40，IP54，带配套连接器XB15SL05 |
| 方面 | 99 x 69 x 48毫米（VSL53） |
| 重量 | 195克（VSL53） |
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