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德国Thyracont图拉特VSL53D/54D

更新时间:2023-05-16

访问量:191

厂商性质:代理商

生产地址:

简要描述:
德国Thyracont图拉特VSL53D/54D真空表变送器Smartline数字真空变送器VSL是专门为负载锁定而开发的

德国Thyracont图拉特VSL53D/54D真空表变送器Smartline

 

数字真空变送器VSL是专门为负载锁定而开发的。金属密封的真空测量设备采用了多传感器技术,并将两个压电传感器与一个皮拉尼传感器结合在一起。因此,测量的压力在1200…1e-4 mbar范围内,相对于环境的相对压力在-1060…+340 mbar范围内。

概述用于负载锁的VSL真空变送器:

集成的多传感器系统:两个压电传感器测量压力和相对压力,以监视腔/闸的泵送和通风过程。Pirani传感器的测量范围高达10 mbar,可控制负载锁和处理室之间的低压传递,以实现的处理纯度。

简而言之:差压输出可精确触发开门功能

精确:高精度,分辨率和出色的稳定性

快速:响应时间短,高达40毫秒

稳定的测量值:得益于优化的温度补偿

与气体类型无关:20 mbar以上的测量与气体类型无关

继电器开关点:两个独立的无电势继电器开关点

概述Smartline真空变送器:

大量的接口选择:数字RS485接口加上0-10 V输出信号,EtherCATProfinet。此外,蓝牙适配器SLKBT支持无线通信

可更换的传感器头:带有存储的校准数据的可轻松更换的更换传感器头

调节简单:只需按一下按钮或通过界面即可调节零压力和大气压

LED:用于状态显示和切换点

可扩展的输出特性:0-10 V输出信号可以根据所需的特性进行缩放。
因此,与制造商无关,可以轻松地进行现有真空规的更换,而无需进行编程工作。
如果要保留电缆但要更换变送器,则可以使用适配器(例如FCC68)。

适用于超高压:由于采用金属密封的不锈钢测量元件,适用于超高压(氦气泄漏率<5e-10 mbar l / s

坚固:耐腐蚀,符合EMC标准的金属外壳,防护等级高达IP54

控制器:可以通过2通道控制器VD124通道控制器VD14进行扩展

VacuGraphTM Windows软件:用于可视化,分析和存储测量数据

测量原理

传热皮拉尼,压阻

气体类型依赖性

取决于气体类型,与气体类型无关(压电)

测量范围毫巴

1200-1e -4 mbar(1200mbar-0.0001mbar),相对压力:-1060 ... +340 mbar(取决于环境压力)

测量范围托

900-1e-4托,相对压力:-795…+255

过载

4个吸收

准确性

1200-40毫巴:0.3fs | 40-2e-3 mbar10fr,相对压力:测量范围的0.25

重复性

1200-40毫巴:0.1fs | 40-1e-2毫巴:2fr

真空接触材料

不锈钢1.4307,钨,镍,玻璃,金,氧化硅

反应时间

40毫秒

工作温度

+ 5 ... + 60°C

储存温度

-40 ... + 65°C

烘烤温度

法兰上125°C(关闭电源)

电源供应

2030 VDC

能量消耗

2.5 W,对于EtherCAT /继电器/ LCD0.8 W,另外为Profinet1.6 W

输出信号SL

0-10 VDC,最小10kΩ,测量范围1.5-8.58 VDC,对数 除了EtherCATProfinet

串列介面

EtherCATProfinetRS4859.6 kBd115 kBd8个数据位,1个停止位,无奇偶校验EtherCATProfinet

切换输出

2个继电器,无电势,50 VAC / 2 A30 VDC / 2 A60 VAEtherCATProfinet除外

电气连接

RS485 / 0-10VSubD15针,公头,RS485 / EtherCAT / Profinet1x M12 A / 2x M12 D母头

真空连接

DN 16 ISO-KFVSL53),DN 16 CF-FVSL54

防护等级

IP40IP54,带配套连接器XB15SL05

方面

99 x 69 x 48毫米(VSL53

重量

195克(VSL53

 

 

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